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  • MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)詳細介紹
    • 發(fā)布時間:2024-07-19 18:20:53
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    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)詳細介紹
    一、 MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    作為半導(dǎo)體器件,它的來源還是最原始的材料,摻雜半導(dǎo)體形成的 P 和 N 型物質(zhì)。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    那么,在半導(dǎo)體工藝里,如何制造 MOS 管的?
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    這就是一個 NMOS 的結(jié)構(gòu)簡圖,一個看起來很簡單的三端元器件。具體的制造過程就像搭建積木一樣,在一定的地基(襯底)上依據(jù)設(shè)計一步步“蓋”起來。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS 管的符號描述為:
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    二、 MOS管的工作機制
    以增強型 MOS 管為例,我們先簡單來看下 MOS 管的工作原理。
    由上圖結(jié)構(gòu)我們可以看到 MOS 管類似三極管,也是背靠背的兩個PN結(jié)!三極管的原理是在偏置的情況下注入電流到很薄的基區(qū)通過電子-空穴復(fù)合來控制CE之間的導(dǎo)通,MOS 管則利用電場來在柵極形成載流子溝道來溝通DS之間。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    如上圖,在開啟電壓不足時,N區(qū)和襯底P之間因為載流子的自然復(fù)合會形成一個中性的耗盡區(qū)。
    給柵極提供正向電壓后,P區(qū)的少子(電子)會在電場的作用下聚集到柵極氧化硅下,最后會形成一個以電子為多子的區(qū)域,叫反型層,稱為反型因為是在P型襯底區(qū)形成了一個N型溝道區(qū)。這樣DS之間就導(dǎo)通了。
    下圖是一個簡單的MOS管開啟模擬:
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    這是MOS管電流Id隨Vgs變化曲線,開啟電壓為1.65V。下圖是MOS管的IDS和VGS與VDS 之間的特性曲線圖,類似三極管。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    下面我們先從器件結(jié)構(gòu)的角度看一下MOS管的開啟全過程。
    1、Vgs對MOS管的開啟作用
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    一定范圍內(nèi) Vgs>Vth,Vds
    Vgs為常數(shù)時,Vds上升,Id近似線性上升,表現(xiàn)為一種電阻特性。
    Vds為常數(shù)時,Vgs上升,Id近似線性上升,表現(xiàn)出一種壓控電阻的特性。
    即曲線左邊
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    2、Vds對MOS管溝道的控制
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    當Vgs>Vth,Vds
    當Vds>Vgs-Vth后,我們可以看到因為DS之間的電場開始導(dǎo)致右側(cè)的溝道變窄,電阻變大。所以電流Id增加開始變緩慢。當Vds增大一定程度后,右溝道被完全夾斷了!
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    此時DS之間的電壓都分布在靠近D端的夾斷耗盡區(qū),夾斷區(qū)的增大即溝道寬度W減小導(dǎo)致的電阻增大抵消了Vds對Id的正向作用,因此導(dǎo)致電流Id幾乎不再隨Vds增加而變化。此時的D端載流子是在強電場的作用下掃過耗盡區(qū)達到S端!
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    這個區(qū)域為 MOS 管的恒流區(qū),也叫飽和區(qū),放大區(qū)。
    但是因為有溝道調(diào)制效應(yīng)導(dǎo)致溝道長度 L 有變化,所以曲線稍微上翹一點。
    重點備注:MOS管與三極管的工作區(qū)定義差別
    三極管的飽和區(qū):輸出電流 Ic 不隨輸入電流 Ib 變化。
    MOS 管的飽和區(qū):輸出電流 Id 不隨輸出電壓 Vds 變化。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    3、擊穿
    Vgs 過大會導(dǎo)致柵極很薄的氧化層被擊穿損壞。
    Vds 過大會導(dǎo)致D和襯底之間的反向PN結(jié)雪崩擊穿,大電流直接流入襯底。
    三、 MOS管的開關(guān)過程分析
    如果要進一步了解MOS管的工作原理,剖析MOS管由截止到開啟的全過程,必須建立一個完整的電路結(jié)構(gòu)模型,引入寄生參數(shù),如下圖。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    詳細開啟過程為:
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    t0~t1階段:柵極電流對Cgs和Cgd充電,Vgs上升到開啟電壓Vgs(th),此間,MOS沒有開啟,無電流通過,即MOS管的截止區(qū)。在這個階段,顯然Vd電壓大于Vg,可以理解為電容 Cgd 上正下負。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    t1~t2階段:Vgs達到Vth后,MOS管開始逐漸開啟至滿載電流值Io,出現(xiàn)電流Ids,Ids與Vgs呈線性關(guān)系,這個階段是MOS管的可變電阻區(qū),或者叫線性區(qū)。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    t2~t3階段:在MOS完全開啟達到電流Io后,柵極電流被完全轉(zhuǎn)移到Ids中,導(dǎo)致Vgs保持不變,出現(xiàn)米勒平臺。在米勒平臺區(qū)域,處于MOS管的飽和區(qū),或者叫放大區(qū)。
    在這一區(qū)域內(nèi),因為米勒效應(yīng),等效輸入電容變?yōu)椋?+K)Cgd。
    米勒效應(yīng)如何產(chǎn)生的:
    在放大區(qū)的 MOS管,米勒電容跨接在輸入和輸出之間,為負反饋作用。具體反饋過程為:Vgs增大>mos開啟后Vds開始下降>因為米勒電容反饋導(dǎo)致Vgs也會通過Cgd放電下降。這個時候,因為有外部柵極驅(qū)動電流,所以才會保持了Vgs不變,而Vds還在下降。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    t3~t4階段:渡過米勒平臺后,即Cgd反向充電達到Vgs,Vgs繼續(xù)升高至最終電壓,這個電壓值決定的是MOS管的開啟阻抗Ron大小。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    我們可以通過仿真看下具體過程:
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    由上面的分析可以看出米勒平臺是有害的,造成開啟延時,不能快速進入可變電阻區(qū),導(dǎo)致?lián)p耗嚴重,但是這個效應(yīng)又是無法避免的。
    目前減小 MOS 管米勒效應(yīng)的幾種措施:
    a:提高驅(qū)動電壓或者減小驅(qū)動電阻,目的是增大驅(qū)動電流,快速充電。但是可能因為寄生電感帶來震蕩問題。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    b:ZVS 零電壓開關(guān)技術(shù)是可以消除米勒效應(yīng)的,即在 Vds 為 0 時開啟溝道,在大功率應(yīng)用時較多。
    c:柵極負電壓驅(qū)動,增加設(shè)計成本。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    d: 有源米勒鉗位。即在柵極增加三極管,關(guān)斷時拉低柵極電壓。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    四、 MOS管的驅(qū)動應(yīng)用
    上面已經(jīng)詳細介紹了 MOS 管的工作機制,那么我們再來看 datasheet 這些參數(shù)就一目了然了。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    極限值參數(shù)代表應(yīng)用時的最高范圍,功耗和散熱是高功率應(yīng)用時的重點。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    功率應(yīng)用中尤其考慮導(dǎo)通電阻、米勒電容等,高速應(yīng)用中重點考慮寄生電容。
    漏電流的參數(shù)一般影響的是大規(guī)模集成芯片的功耗。
    反向恢復(fù)時間是一個重要參數(shù),它表示 MOS 管由開啟到截止的恢復(fù)時間,時間太長會極大影響速度和功耗。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    體二極管:
    在分立器件NMOS管中,S端一般襯底,所以導(dǎo)致DS之間有一個寄生二極管。
    但是在集成電路內(nèi)部,S端接低電位或者高電位,不一定接襯底,所以就不存在寄生二極管。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    寄生二極管具有保護 MOS 管的作用,導(dǎo)出瞬間反向的大電流。
    MOS 的驅(qū)動是應(yīng)用設(shè)計的重點,接下來我們聊聊有哪些驅(qū)動方式和特點。
    4.1直接驅(qū)動
    驅(qū)動芯片直接輸出 PWM 波
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    特點:驅(qū)動環(huán)路距離不能太遠,否則因為寄生電感降低開關(guān)速度和導(dǎo)致振鈴。另外,一般驅(qū)動器也難以提供很大的驅(qū)動電流。
    4.2推挽式驅(qū)動
    PWM 驅(qū)動通過推挽結(jié)構(gòu)來驅(qū)動?xùn)艠O
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    特點:實現(xiàn)較小的驅(qū)動環(huán)路和更大的驅(qū)動電流,柵極電壓被鉗位在 Vb+Vbe 和 GND 與Vbe 之間。
    4.3柵極驅(qū)動加速電路
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    并聯(lián)二極管可以分流,但是隨著電壓降低,二極管逐漸失去作用。
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    4.4 PNP關(guān)斷電路
    MOS管的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)
    特點:PNP 在關(guān)斷時形成短路放電,但是無法完全為 0,二極管 Don 可以鉗位防止三極管擊穿。
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